赫克斯科技股份有限公司
2010年10月26日 星期二
LED結構分析(十六)
1.晶棒/晶片:晶棒成長共有柴可拉斯
基長晶法、Bridgman Method、
Vertical Gradient Freeze(VGF)
Method 三種。
晶棒直徑一般為
2",3",4",後利用切片機將其切
成要求之晶片。
2.磊晶制程:磊晶有液相磊晶法,氣相磊晶法,有機金屬化學氣相
沉積(MOCVD)法,分子束磊晶法等。
資料來源:
瑋群光電
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